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半自動電解拋光傳輸模塊技術

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半自動電解拋光傳輸模塊技術

發布日期:2015-11-24 00:00 來源:http://www.310465.icu 點擊:

  一般傳統之金屬工件清洗系統為多槽串連式,其中包括酸堿洗槽及純水清洗槽,操作方式以人工為主,每個清洗槽的處理時間控制及清洗物料的潔凈處理順序流程。以工業量產的觀點來看,人力所能提重的重量有限,以及繁覆的清洗流程中易出現人為的失誤及操作上的安全顧慮。大型不銹鋼拋光因此配合半自動電解拋光系統同時發展一套半自動的清洗傳輸系統,以增加電解拋光前后所需之潔凈清洗的效率及確保制程的穩定,降低操作人員的風險,提高產出能量。4 g7 E( [4 ^5 ?  所研發的半自動電解拋光設備模塊(如圖一)主要期望可以單人操作,所有的操作界面及指示皆在機臺的正面,以方便為宜,另外考慮電解拋光過程的便利性及產能,特別要求所有的電路及液體傳導都在機臺內部運作,也可增加操作的安全性。且為改善現有EP化學槽的作業性,以局部自動化作業的方式,可節省人工操作時間,并提升產能及產品質量的穩定性。
  化學氣體是IC制程的主要材料,隨著IC制程線幅縮小,對于供應氣體質量的要求也越來越嚴苛,目前制程對Particle的容忍度已經是在0.1ppb以下,所以對于其反應氣體的要求自不在話下,但是對于輸送氣體的管路組件更須嚴謹的規范,此乃為了避免選用不當的管路組件而污染制程氣體。大型不銹鋼拋光 氣體供應系統的管路組件影響其管路制程氣體潔凈度的主要原因有四個:: I! K& l* J. L4 {9 j9 J; }% b: s (1)產生particle:附著于流道表面的異物剝落,及組件材料中介在物釋出+ _; w* g4 e1 R3 x3 p (2)金屬腐蝕生成物:管路受腐蝕性氣體侵蝕造成Fe、Cr等重金屬剝離 (3)水分或氣體釋出:附著于流道表面的水分或氣體釋出  (4)制程氣體變質:管路中輸送的制程氣體因受到組件中Ni觸媒機構的催化作用而起分解作用,例如SiH4變成Si2H6  由以上的機構來看,如欲減少不純物的產生,應該由下列方式來著手: (1)降低材料中的不純物以避免管路腐蝕而造成污染 (2)改善材料之耐蝕性能  (3)改善管路組件表面之粗糙度以減少附著堆積的現象  在這三個問題的解決方式中,除第(1)項材料的先天問題,必須配合選擇特殊的高潔凈不銹鋼材之外,其余第(2)(3)項都可以透過電解拋光(EP)的方式來解決,尤其當材料的問題解決,也就是采用潔凈不銹鋼材之后,EP的效果更是如虎添翼,這也就是為什么EP處理會成為高潔凈零組件標處理程序的原因。


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